激光光谱研究所磁控溅射仪采购竞价公告
· 2024-05-06
| 项目名称 | 激光光谱研究所磁控溅射仪采购 | 项目编号 | CG20240215 |
| 项目编号 | CG20240215 | ||
| 公告发布日期 | 2024/05/06 17:07 | 公告截止日期 | 2024/05/10 17:07 |
| 公告截止日期 | 2024/05/10 17:07 | ||
| 采购单位 | 山西大学 | 付款条款 | 货到验收合格后一次性支付全款 |
| 付款条款 | 货到验收合格后一次性支付全款 | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
| 是否本地化服务 | 是 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
| 踏勘联系电话 | |||
| 踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
| 踏勘联系时间 | |||
| 采购预算 | ￥295,000.00 | ||
| 送货/施工/服务期限 | 合同生效之日起100日内 | ||
| 送货/施工/服务地址 | 太原市坞城路92号 山西大学 | ||
| 付款条款 | 货到验收合格后一次性支付全款 | ||
| 其他说明 | 1、货物服务类竞价项目，进口产品收取成交金额3%的履约保证金，国产收取成交金额5%的履约保证金，特殊情况另行约定。 | ||
采购清单
1
| 采购内容 | 是否进口 | 限定品牌 | 限定型号 | 计量单位 | 采购数量 | |
| 磁控溅射镀膜系统 | 否 | 武汉普迪真空 | PD-300C | 套 | 1 | |
| 售后服务 | 1.产品免费质保期为 3 年（整机）。2.质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）。3.质保期内由于设备本身原因而引起的零配件（易损件除外）的更换，其费用由供方承担。4.建立客户设备信息档案，随时跟踪设备运行及维护，保证设备正常运行。5.在接到需方要求供方进行技术支持的正式通知（含电话或邮件通知）后，供方技术人员于 12 小时内，赶到技术服务现场。6.对于质保期以外设备的维护，供方只收取成本费。7.所有配件、备件质保期外，供方长期按成本价及时提供。8.供方派技术工程师对需方人员进行技术培训。使需方人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理，达到能独立进行操作、日常测试维护等工作的目的。9.供方应提供详细的培训课程讲义及培训。10.安装验收完毕后对需方 不少于 2 人进行培训，内容包括：实验方法原理、实验操作、拟合软件的使用、仪器维护、安全要点以及其他相关内容。11.培训费用：所发生的培训费用由供方承担。 | |||||
| 技术参数要求 | 1.极限真空：优于5×10-5Pa（经烘烤除气后）；2.抽速测试：从大气抽到工作真空（8×10-4Pa）时间少于30分钟；3.系统漏率：≤2x10-7Pa.l/S(以氦质谱检漏仪测试指标考核）；4.系统保压：系统抽至高真空后停泵关机保压12小时后真空度小于10Pa;5.基片加热：样品台最高加热温度500℃；6.溅射尺寸：衬底基片最大4英寸；7.样品台：基片可旋转，可调速；8.成膜质量：托盘4英寸范围内均匀性优于±5%；9.溅射靶：3个3英寸圆形靶枪，角度可调，其中1支为强磁靶；10.溅射电源：2台直流电源，1台射频电源；11.工艺气体：4路工艺气体，配备进口薄膜真空计；12.膜厚仪：进口石英晶振膜厚控制仪，带 1套水冷探头； | |||||
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