工科物理实验建设(六期)-双靶磁控溅射仪（jj24000090）采购公告
· 2024-03-20
| 项目名称 | 工科物理实验建设(六期)-双靶磁控溅射仪 | 项目编号 | JJ24000090 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2024-03-20 10:02:40 | 公告截止日期 | 2024-03-25 11:00:00 |
| 采购单位 | 东北大学 | 付款方式 | 货到验收付款 |
| 联系人 | 联系电话 | ||
| 签约时间要求 | 成交后5个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后60个工作日内 |
| 预算总价 | 244000.0 | ||
| 收货地址 | 辽宁省沈阳市和平区文化路3巷东北大学建筑学馆 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
| ||
采购清单
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 双靶磁控溅射仪 | 1 | 台 | 其他仪器仪表 |
| 品牌 | 科晶 |
|---|---|
| 型号 | VTC-600-2HD |
| 技术参数及配置要求 | 1、电源电压：220V 50Hz2、功率：900W3、腔体内径：？300mm4、极限真空度：9.0×10-4Pa5、样品台加热温度：RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度）6、靶枪数量：2个7、靶枪冷却方式：水冷8、靶材尺寸：？2″，厚度0.1-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同）9、直流溅射功率：500W；射频溅射功率：300W。（一个直流一个射频电源）10、载样台：？140mm，可根据客户需求选配加装偏压功能，以实现更高质量的镀膜11、载样台转速：1rpm-20rpm内可调12、工作气体：Ar等惰性气体13、进气气路：质量流量计控制2路进气，一路为100SCCM，另一路为200SCCM14、产品规格：尺寸：主机尺寸：500mm×560mm×660mm整机尺寸：1300mm×660mm×1200mm真空室规格：φ300×300mm15、膜厚监测仪系统16、分子泵（德国进口或者国产更大抽速）17、冷水机 |
| 售后服务 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;1、需派技术工程师对需方人员进行技术培训，使需方人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理，达到能独立进行操作、日常基本维护等工。培训内容包括：系统原理、实验操作、电气控制的使用、仪器维护、安全要点以及其他相关内容。2、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；3、 质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）；4、每年免费提供 2次设备巡检，保证客户设备处于完好状态。5、建立客户设备信息档案，随时跟踪设备运行及维护，保证设备正常运行；; |
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